Study of defects and structural transformations induced by ion irradiation of Y2O3 thin films deposited by Ion Beam Sputtering

  1. Lacroix, B.
  2. Paumier, F.
  3. Jublot, M.
  4. Pacaud, J.
  5. Gaboriaud, R.J.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781615677627

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 1122

Seiten: 60-65

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-1122-O09-04 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus