Compositional depth profiling analysis of thin and ultrathin multilayer coatings by radio-frequency glow discharge optical emission spectroscopy
- Escobar Galindo, R.
- Forniés, E.
- Albella, J.M.
ISSN: 0257-8972
Año de publicación: 2006
Volumen: 200
Número: 22-23 SPEC. ISS.
Páginas: 6185-6189
Tipo: Artículo