Fabrication of 70-nm-diameter carbon nanotube via interconnects by remote plasma-Enhanced chemical vapor deposition and their electrical properties
- Katagiri, M.
- Yamazaki, Y.
- Sakuma, N.
- Suzuki, M.
- Sakai, T.
- Wada, M.
- Nakamura, N.
- Matsunaga, N.
- Sato, S.
- Nihei, M.
- Awano, Y.
Actas:
Proceedings of the 2009 IEEE International Interconnect Technology Conference, IITC 2009
ISBN: 9781424444939
Año de publicación: 2009
Páginas: 44-46
Tipo: Aportación congreso