High-quality carbon nanotube growth at low temperature by pulse-excited remote plasma chemical vapor deposition

  1. Yamazaki, Y.
  2. Sakuma, N.
  3. Katagiri, M.
  4. Suzuki, M.
  5. Sakai, T.
  6. Sato, S.
  7. Nihei, M.
  8. Awano, Y.
Zeitschrift:
Applied Physics Express

ISSN: 1882-0778,  1882-0786

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 1

Nummer: 3

Seiten: 0340041-0340043

Art: Artikel

DOI: 10.1143/APEX.1.034004 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus