Fabrication of gas amplification microstructures with SU8 photosensitive epoxy

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment

ISSN: 0168-9002

Año de publicación: 2004

Volumen: 525

Número: 1-2

Páginas: 49-52

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.NIMA.2004.03.023 GOOGLE SCHOLAR
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