Microstructural evolution and properties of He-charged a-Si coatings prepared by magnetron sputtering

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2024

Volumen: 643

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2023.158681 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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