Influence of substrate crystallography on the room temperature synthesis of AlN thin films by reactive sputtering

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2011

Volumen: 257

Número: 22

Páginas: 9306-9313

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2011.05.025 GOOGLE SCHOLAR
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