High resolution boron content profilometry at δ-doping epitaxial diamond interfaces by CTEM

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 461

Seiten: 221-226

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2018.07.097 GOOGLE SCHOLAR
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