High quality Al2O3/(100) oxygen-terminated diamond interface for MOSFETs fabrication

  1. Pham, T.T.
  2. Gutiérrez, M.
  3. Masante, C.
  4. Rouger, N.
  5. Eon, D.
  6. Gheeraert, E.
  7. Araùjo, D.
  8. Pernot, J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2018

Volumen: 112

Número: 10

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.5018403 GOOGLE SCHOLAR