Optimization of AlN thin layers on diamond substrates for high frequency SAW resonators

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Revista:
Materials Letters

ISSN: 0167-577X

Año de publicación: 2012

Volumen: 66

Número: 1

Páginas: 339-342

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MATLET.2011.09.003 GOOGLE SCHOLAR
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