Defect morphology and strain of CVD grown 3C-SiC layers: Effect of the carbonization process

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Revista:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6300,  1862-6319

Año de publicación: 2005

Volumen: 202

Número: 4

Páginas: 561-565

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1002/PSSA.200460421 GOOGLE SCHOLAR
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