Transmission electron microscopy study of ultra-thin SiC layers obtained by rapid thermal carbonization of Si wafers

  1. Morales, F.M.
  2. Molina, S.I.
  3. Araújo, D.
  4. Cimalla, V.
  5. Pezoldt, J.
  6. Barbadillo, L.
  7. Hernández, M.J.
  8. Piqueras, J.
Revista:
Physica Status Solidi (A) Applied Research

ISSN: 0031-8965

Any de publicació: 2003

Volum: 195

Número: 1 SPEC

Pàgines: 116-121

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1002/PSSA.200306278 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus