Transmission electron microscopy study of ultra-thin SiC layers obtained by rapid thermal carbonization of Si wafers

  1. Morales, F.M.
  2. Molina, S.I.
  3. Araújo, D.
  4. Cimalla, V.
  5. Pezoldt, J.
  6. Barbadillo, L.
  7. Hernández, M.J.
  8. Piqueras, J.
Revista:
Physica Status Solidi (A) Applied Research

ISSN: 0031-8965

Ano de publicación: 2003

Volume: 195

Número: 1 SPEC

Páxinas: 116-121

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1002/PSSA.200306278 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus