Stress manipulation in CVD grown SiC on Si by mono- and sub-monolayer Ge precoverages

  1. Pezoldt, J.
  2. Zgheib, Ch.
  3. Morales, F.M.
  4. Förster, Ch.
  5. Stauden, T.
  6. Wang, Ch.
  7. Masri, P.
  8. Leycuras, A.
  9. Ferro, G.
  10. Ambacher, O.
Actes:
Proceedings - Electrochemical Society

Any de publicació: 2005

Volum: PV 2005-09

Pàgines: 707-714

Tipus: Aportació congrés