Stress manipulation in CVD grown SiC on Si by mono- and sub-monolayer Ge precoverages

  1. Pezoldt, J.
  2. Zgheib, Ch.
  3. Morales, F.M.
  4. Förster, Ch.
  5. Stauden, T.
  6. Wang, Ch.
  7. Masri, P.
  8. Leycuras, A.
  9. Ferro, G.
  10. Ambacher, O.
Actas:
Proceedings - Electrochemical Society

Ano de publicación: 2005

Volume: PV 2005-09

Páxinas: 707-714

Tipo: Achega congreso