Stress manipulation in CVD grown SiC on Si by mono- and sub-monolayer Ge precoverages

  1. Pezoldt, J.
  2. Zgheib, Ch.
  3. Morales, F.M.
  4. Förster, Ch.
  5. Stauden, T.
  6. Wang, Ch.
  7. Masri, P.
  8. Leycuras, A.
  9. Ferro, G.
  10. Ambacher, O.
Actes de conférence:
Proceedings - Electrochemical Society

Année de publication: 2005

Volumen: PV 2005-09

Pages: 707-714

Type: Communication dans un congrès