Modulated CNx films prepared by IBAD

  1. Sáfrán, G.
  2. Kolitsch, A.
  3. Malhuitre, S.
  4. Trasobares, S.
  5. Kovács, I.
  6. Geszti, O.
  7. Menyhárd, M.
  8. Colliex, C.
  9. Radnóczi, G.
Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Any de publicació: 2002

Volum: 11

Número: 8

Pàgines: 1552-1559

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0925-9635(02)00099-7 GOOGLE SCHOLAR