Modulated CNx films prepared by IBAD

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Zeitschrift:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 11

Nummer: 8

Seiten: 1552-1559

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0925-9635(02)00099-7 GOOGLE SCHOLAR