Vertically stacked CMOS-compatible photodiodes for scanning electron microscopy

  1. Gontard, L.C.
  2. Leñero-Bardallo, J.A.
  3. Varela-Feria, F.M.
  4. Carmona-Galán, R.
Actes de conférence:
Proceedings - IEEE International Symposium on Circuits and Systems

ISSN: 0271-4310

ISBN: 9781728133201

Année de publication: 2020

Volumen: 2020-October

Type: Communication dans un congrès