Depth-selective 2D-ACAR studies on low-k dielectric thin films

  1. Eijt, S.W.H.
  2. Van Veen, A.
  3. Falub, C.V.
  4. Escobar Galindo, R.
  5. Schut, H.
  6. Mijnarends, P.E.
  7. De Theije, F.K.
  8. Balkenende, A.R.
Revista:
Radiation Physics and Chemistry

ISSN: 0969-806X

Any de publicació: 2003

Volum: 68

Número: 3-4

Pàgines: 357-362

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S0969-806X(03)00184-1 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus