Depth-selective 2D-ACAR studies on low-k dielectric thin films

  1. Eijt, S.W.H.
  2. Van Veen, A.
  3. Falub, C.V.
  4. Escobar Galindo, R.
  5. Schut, H.
  6. Mijnarends, P.E.
  7. De Theije, F.K.
  8. Balkenende, A.R.
Aldizkaria:
Radiation Physics and Chemistry

ISSN: 0969-806X

Argitalpen urtea: 2003

Alea: 68

Zenbakia: 3-4

Orrialdeak: 357-362

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0969-806X(03)00184-1 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus