Fabrication and characterization of planarized carbon nanotube via interconnects

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Zeitschrift:
Japanese Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-4922,  1347-4065

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 51

Nummer: 5 PART 2

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1143/JJAP.51.05ED02 GOOGLE SCHOLAR
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