Fabrication and characterization of planarized carbon nanotube via interconnects
- Katagiri, M.
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- Isobayashi, A.
- Sakata, A.
- Sakuma, N.
- Kajita, A.
- Sakai, T.
ISSN: 0021-4922, 1347-4065
Año de publicación: 2012
Volumen: 51
Número: 5 PART 2
Tipo: Aportación congreso