Effects of growth parameters on oxygen incorporation into InGaAiP grown by metalorganic chemical vapor deposition
- Nishikawa, Yukie
- Suzuki, Mariko
- Okajima, Masaki
Actes:
Conference on Solid State Devices and Materials
Any de publicació: 1992
Pàgines: 293-295
Tipus: Aportació congrés