Transmission electron microscopy study of ultra-thin SiC layers obtained by rapid thermal carbonization of Si wafers

  1. Morales, F.M.
  2. Molina, S.I.
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  6. Barbadillo, L.
  7. Hernández, M.J.
  8. Piqueras, J.
Revista:
Physica Status Solidi (A) Applied Research

ISSN: 0031-8965

Año de publicación: 2003

Volumen: 195

Número: 1 SPEC

Páginas: 116-121

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1002/PSSA.200306278 GOOGLE SCHOLAR
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