Modulated CNx films prepared by IBAD

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Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Año de publicación: 2002

Volumen: 11

Número: 8

Páginas: 1552-1559

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0925-9635(02)00099-7 GOOGLE SCHOLAR
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