Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates

  1. Bartsch, H.
  2. Grieseler, R.
  3. Mánuel, J.
  4. Pezoldt, J.
  5. Müller, J.
Revista:
Coatings

ISSN: 2079-6412

Any de publicació: 2018

Volum: 8

Número: 8

Tipus: Article

DOI: 10.3390/COATINGS8080289 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus