Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates

  1. Bartsch, H.
  2. Grieseler, R.
  3. Mánuel, J.
  4. Pezoldt, J.
  5. Müller, J.
Zeitschrift:
Coatings

ISSN: 2079-6412

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 8

Nummer: 8

Art: Artikel

DOI: 10.3390/COATINGS8080289 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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