Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates
- Bartsch, H.
- Grieseler, R.
- Mánuel, J.
- Pezoldt, J.
- Müller, J.
Aldizkaria:
Coatings
ISSN: 2079-6412
Argitalpen urtea: 2018
Alea: 8
Zenbakia: 8
Mota: Artikulua