Cluster Tool for in Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures

  1. Wenisch, R.
  2. Lungwitz, F.
  3. Hanf, D.
  4. Heller, R.
  5. Zscharschuch, J.
  6. Hübner, R.
  7. Von Borany, J.
  8. Abrasonis, G.
  9. Gemming, S.
  10. Escobar-Galindo, R.
  11. Krause, M.
Revista:
Analytical Chemistry

ISSN: 1520-6882,  0003-2700

Any de publicació: 2018

Volum: 90

Número: 13

Pàgines: 7837-7842

Tipus: Article

DOI: 10.1021/ACS.ANALCHEM.8B00923 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus