Cluster Tool for in Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures

  1. Wenisch, R.
  2. Lungwitz, F.
  3. Hanf, D.
  4. Heller, R.
  5. Zscharschuch, J.
  6. Hübner, R.
  7. Von Borany, J.
  8. Abrasonis, G.
  9. Gemming, S.
  10. Escobar-Galindo, R.
  11. Krause, M.
Revista:
Analytical Chemistry

ISSN: 1520-6882,  0003-2700

Ano de publicación: 2018

Volume: 90

Número: 13

Páxinas: 7837-7842

Tipo: Artigo

DOI: 10.1021/ACS.ANALCHEM.8B00923 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus