Growth of CrNx films by DC reactive magnetron sputtering at constant N2/Ar gas flow
- Forniés, E.
- Escobar Galindo, R.
- Sánchez, O.
- Albella, J.M.
ISSN: 0257-8972
Año de publicación: 2006
Volumen: 200
Número: 20-21
Páginas: 6047-6053
Tipo: Artículo
ISSN: 0257-8972
Año de publicación: 2006
Volumen: 200
Número: 20-21
Páginas: 6047-6053
Tipo: Artículo