Growth of CrNx films by DC reactive magnetron sputtering at constant N2/Ar gas flow
- Forniés, E.
- Escobar Galindo, R.
- Sánchez, O.
- Albella, J.M.
ISSN: 0257-8972
Ano de publicación: 2006
Volume: 200
Número: 20-21
Páxinas: 6047-6053
Tipo: Artigo
ISSN: 0257-8972
Ano de publicación: 2006
Volume: 200
Número: 20-21
Páxinas: 6047-6053
Tipo: Artigo