Texture in ITO films deposited at oblique incidence by ion beam sputtering

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2022

Ausgabe: 605

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2022.154677 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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