Synthesis and characterization of zirconium oxynitride ZrO xNy coatings deposited via unbalanced DC magnetron sputtering

  1. Cubillos, G.I.
  2. Olaya, J.J.
  3. Bethencourt, M.
  4. Antorrena, G.
  5. El Amrani, K.
Revista:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Any de publicació: 2013

Volum: 141

Número: 1

Pàgines: 42-51

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2013.04.012 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus