Synthesis and characterization of zirconium oxynitride ZrO xNy coatings deposited via unbalanced DC magnetron sputtering

  1. Cubillos, G.I.
  2. Olaya, J.J.
  3. Bethencourt, M.
  4. Antorrena, G.
  5. El Amrani, K.
Zeitschrift:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 141

Nummer: 1

Seiten: 42-51

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2013.04.012 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus