Synthesis and characterization of zirconium oxynitride ZrO xNy coatings deposited via unbalanced DC magnetron sputtering

  1. Cubillos, G.I.
  2. Olaya, J.J.
  3. Bethencourt, M.
  4. Antorrena, G.
  5. El Amrani, K.
Aldizkaria:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Argitalpen urtea: 2013

Alea: 141

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 42-51

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2013.04.012 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus