Synthesis and characterization of zirconium oxynitride ZrO xNy coatings deposited via unbalanced DC magnetron sputtering

  1. Cubillos, G.I.
  2. Olaya, J.J.
  3. Bethencourt, M.
  4. Antorrena, G.
  5. El Amrani, K.
Revista:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Ano de publicación: 2013

Volume: 141

Número: 1

Páxinas: 42-51

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.MATCHEMPHYS.2013.04.012 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus