SIMS investigation of the influence of Ge pre-deposition on the interface quality between SiC and Si

  1. Pezoldt, J.
  2. Zgheib, Ch.
  3. Masri, P.
  4. Averous, M.
  5. Morales, F.M.
  6. Kosiba, R.
  7. Ecke, G.
  8. Weih, P.
  9. Ambacher, O.
Revista:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Any de publicació: 2004

Volum: 36

Número: 8

Pàgines: 969-972

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1002/SIA.1814 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus