SIMS investigation of the influence of Ge pre-deposition on the interface quality between SiC and Si

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Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 36

Nummer: 8

Seiten: 969-972

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/SIA.1814 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus