SIMS investigation of the influence of Ge pre-deposition on the interface quality between SiC and Si

  1. Pezoldt, J.
  2. Zgheib, Ch.
  3. Masri, P.
  4. Averous, M.
  5. Morales, F.M.
  6. Kosiba, R.
  7. Ecke, G.
  8. Weih, P.
  9. Ambacher, O.
Revista:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Ano de publicación: 2004

Volume: 36

Número: 8

Páxinas: 969-972

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1002/SIA.1814 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus