Cluster Tool for in Situ Processing and Comprehensive Characterization of Thin Films at High Temperatures

  1. Wenisch, R.
  2. Lungwitz, F.
  3. Hanf, D.
  4. Heller, R.
  5. Zscharschuch, J.
  6. Hübner, R.
  7. Von Borany, J.
  8. Abrasonis, G.
  9. Gemming, S.
  10. Escobar-Galindo, R.
  11. Krause, M.
Revista:
Analytical Chemistry

ISSN: 1520-6882 0003-2700

Año de publicación: 2018

Volumen: 90

Número: 13

Páginas: 7837-7842

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/ACS.ANALCHEM.8B00923 GOOGLE SCHOLAR