Growth of CrNx films by DC reactive magnetron sputtering at constant N2/Ar gas flow

  1. Forniés, E.
  2. Escobar Galindo, R.
  3. Sánchez, O.
  4. Albella, J.M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2006

Volumen: 200

Número: 20-21

Páginas: 6047-6053

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2005.09.020 GOOGLE SCHOLAR
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