Stress reduction in a-C:H coatings through the addition of nitrogen to the feed gas

  1. Rabbani, F.
  2. Escobar Galindo, R.
  3. Arnoldbik, W.M.
  4. van der Zwaag, S.
  5. van Veen, A.
  6. Schut, H.
Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Any de publicació: 2004

Volum: 13

Número: 9

Pàgines: 1645-1657

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2004.02.003 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus