Stress reduction in a-C:H coatings through the addition of nitrogen to the feed gas

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Zeitschrift:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 13

Nummer: 9

Seiten: 1645-1657

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2004.02.003 GOOGLE SCHOLAR
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