Stress reduction in a-C:H coatings through the addition of nitrogen to the feed gas

  1. Rabbani, F.
  2. Escobar Galindo, R.
  3. Arnoldbik, W.M.
  4. van der Zwaag, S.
  5. van Veen, A.
  6. Schut, H.
Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Ano de publicación: 2004

Volume: 13

Número: 9

Páxinas: 1645-1657

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2004.02.003 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus