Protrusion formation and surface porosity development on thermally annealed helium implanted copper

  1. Escobar Galindo, R.
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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 217

Nummer: 2

Seiten: 262-275

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2003.10.012 GOOGLE SCHOLAR
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