Improvement in electrical properties of carbon nanotube via interconnects

  1. Katagiri, M.
  2. Yamazaki, Y.
  3. Wada, M.
  4. Kitamura, M.
  5. Sakuma, N.
  6. Suzuki, M.
  7. Sato, S.
  8. Nihei, M.
  9. Kajita, A.
  10. Sakai, T.
  11. Awano, Y.
Actes:
Advanced Metallization Conference (AMC)

ISSN: 1540-1766

ISBN: 9781617822810

Any de publicació: 2010

Pàgines: 152-153

Tipus: Aportació congrés