Improvement in electrical properties of carbon nanotube via interconnects

  1. Katagiri, M.
  2. Yamazaki, Y.
  3. Wada, M.
  4. Kitamura, M.
  5. Sakuma, N.
  6. Suzuki, M.
  7. Sato, S.
  8. Nihei, M.
  9. Kajita, A.
  10. Sakai, T.
  11. Awano, Y.
Konferenzberichte:
Advanced Metallization Conference (AMC)

ISSN: 1540-1766

ISBN: 9781617822810

Datum der Publikation: 2010

Seiten: 152-153

Art: Konferenz-Beitrag