Improvement in electrical properties of carbon nanotube via interconnects

  1. Katagiri, M.
  2. Yamazaki, Y.
  3. Wada, M.
  4. Kitamura, M.
  5. Sakuma, N.
  6. Suzuki, M.
  7. Sato, S.
  8. Nihei, M.
  9. Kajita, A.
  10. Sakai, T.
  11. Awano, Y.
Actes de conférence:
Advanced Metallization Conference (AMC)

ISSN: 1540-1766

ISBN: 9781617822810

Année de publication: 2010

Pages: 152-153

Type: Communication dans un congrès